エッチング工程

Etching、食刻

ウェハで必要な回路パターン以外の部分を取り除くプロセス。

半導体のエッチング工程は、版画技法の一種である銅版画エッチング技法に似た原理を使用している。 化学薬品の腐食作用を用いてイメージを作るエッチング技法と同様に、半導体のエッチング工程も液体または気体の腐食液(etchant)を用いて不要部分を除去した後、半導体回路パターンを作る。