洗浄工程
ウェハを洗い、汚れを取り除く。
前工程の最初
前工程の成膜工程の前後
洗浄専用の洗浄装置が開発されている。
table:汚れの種類
種別 概要
パーティクル ウェーハを梱包から取り出したり運んだりするとき工場の外気などから付着したゴミ0.1μm以下〜数μm
金属汚染 蒸発した汗に含まれるナトリウム分子や、工場内で使っている薬液に含まれる微量な重金属原子など。
有機汚染 人のフケや垢に含まれる炭素や工場内で使う薬液に含まれる微量の炭素分子など。
油脂 人の汗に含まれる油分など。
自然酸化膜 ウェーハが大気に触れると、その表面が大気中の酸素と結合して10 〜20nmの酸化膜ができ、汚れのため洗浄対象。
洗浄のタイミング