フッ素

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ハロゲン族元素

周期表右上に位置し、原子半径が小さく、原子核の正の電荷影響を受けやすい

酸化させる強烈なガス

炭素-フッ素結合は強く、耐熱性、耐薬品性、耐酸化性を示す

分極率が低くなり、屈折率、誘電率、表面張力が小さくなる

テフロン、フッ素樹脂

フッ素原子を含むプラスチック原料の総称

フッ素は半導体の加工材料として利用される。

洗浄工程：不要なシリコン酸化膜を除去するためにフッ酸を利用する。

シリコンウェハを洗浄する高純度希フッ酸

絶縁膜のエッチングはバッファードフッ酸