フォトリソグラフィ工程

写真の現像のしくみを応用した技術で、シリコンウエハ上に回路パターンを描く。

フォトリソグラフィの英語表記は、「photolithography」です。

「フォト」と「リソグラフィ」を組み合わせた、その名のとおり、写真の現像技術を応用したパターン作成技術のことをいいます。

ちなみに、「リソグラフィ」は石版印刷を意味します。

この技術は、感光性の物質（フォトレジスト）塗布し、露光、現像してパターンを形成する技術です。

半導体集積回路・プリント基板・印刷版・液晶ディスプレイなど、パターニングを必要とするさまざまな製品の製造に使われています。

パターン形成の過程

感光性の物質（フォトレジスト）を塗布

ポジ型

ネガ型

露光★

現像

ポジ型かネガ型で現像される領域が変わる