リソグラフィー
同義語
フォトリソグラフィー
,
電子ビームリソグラフィー
,
フォトエッチング
,
Lithography
上位語・
件名標目
・関連語・下位語
リソグラフィー
集積回路
,
ナノインプリント
,
フォトマスク
分類記号(NDLC):
ND386
分類記号(NDC9):
549.7
分類記号(NDC10):
549.7