スパッタリング
同義語
スパッタ
,
スパッタリング技術
,
スパッタリング法
,
スパッタ技術
,
Sputtering (Physics)
上位語・
件名標目
・関連語・下位語
衝突 (原子物理学)
スパッタリング
表面 (工学)
,
薄膜
分類記号(NDLC):
MC141;ND371
分類記号(NDC9):
428.4;549.8
分類記号(NDC10):