リソグラフィー
同義語
フォトリソグラフィー
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/ 電子ビームリソグラフィー
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/ フォトエッチング
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/ Lithography
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上位語・
件名標目
・関連語・下位語
リソグラフィー
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集積回路
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ナノインプリント
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フォトマスク
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分類記号
NDLC:
ND386
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NDC(9版):
549.7
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NDC(10版):
549.7
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