スパッタリング
同義語
スパッタ
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/ スパッタリング技術
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/ スパッタリング法
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/ スパッタ技術
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/ Sputtering (Physics)
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上位語・
件名標目
・関連語・下位語
衝突 (原子物理学)
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スパッタリング
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表面 (工学)
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薄膜
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分類記号
NDLC:
MC141
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/
ND371
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NDC(9版):
428.4
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/
549.8
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NDC(10版):