カンチレバー型触覚センサ
ヒューマノイドロボット用多軸触覚センサ(M.Sougawa et al., 2009)
カンチレバーを残留応力で反り返らせることで、圧力とせん断力により容易に変形
これを2組直角に配置することで3軸方向の圧力及びせん断力を測定
エラストマーで覆いセンサを柔軟に保護
1素子が1mm程度でヒトの指先と同程度の空間分解能
圧力、せん断力の最小分解能は約5kPaで1cm2あたり50gを判別できる程度